Áß°í±â°è,Áß°í°øÀÛ±â°è,Áß°í»ê¾÷±â°è,Áß°í±â°è±Þ¸Å °Ô½ÃÆÇ |
|
|
ÇöóÁ Á¤ÀÇ |
|
QAS Áß°í±â°è ÇÑ°ø»ê¾÷±â°è |
|
- |
|
2008-03-18 ¿ÀÈÄ 8:28:58 |
|
3990 |
|
|
ÇöóÁ Á¤ÀÇ :
Àü±â ¿¡³ÊÁö¸¦ °®´Â Ưº°ÇÑ ÇüÅÂÀÇ °¡½º
Áï °³½º°¡ ÀÌ¿ÂȵȻóÅÂ.
ÀÌ ¿¡³ÊÁö´Â ¹ÝÀÀÀ» ÃËÁø ÇöóÁ³»ÀÇ ÀÌ¿ÂÀ» °¡¼Ó.
ÇöóÁ ¿ëµµ´Â ¸Å¿ì ´Ù¾çÇÏ´Ù.
ÇöóÁ¿Í ´ê´Â ¸ÅÁúÇ¥¸é etching °ú depostion ȤÀº
implantation ¿¡¼ºÎÅÍ ¾ÆÅ© ÇöóÁ¸¦ »ç¿ëÇÑ ¾ÆÅ© Ä¿ÅͱâµîÀÌ ÀÖ´Ù
±× ¿ÜÀÇ »ç¿ëµµ´Â ³Ê¹« ³Ð°í ´Ù¾çÇÏ´Ù.
Á»´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ÇöóÁÀÇ Á¤ÀǸ¦ °øºÎÇغ¸ÀÚ.
ÇöóÁ¶õ Á¦ 4ÀÇ »óÅÂÀÇ ¹°ÁúÀ» ¸»ÇÑ´Ù.
¿Ö³Ä¸é º¸Åë ¹°ÁúÀº 3°¡Áö ¹°Áú»óÅÂÀÌ´Ù.
¿ì¸®°¡ À߾˰í ÀÖ´Â °íü, ¾×ü, ±âü ÀÌ´Ù.
ÀÌµé »óÅ´ °¢°¢ÀÇ ±¸¼º ºÐÀÚµéÀÇ °áÇÕ·Â,¿îµ¿¼º¿¡ µû¶ó Çü¼ºµÈ´Ù.
°íü<¾×ü<±âü ÀÌ·± ¼ø¼·Î ¿îµ¿¼ºÀÌ ÁÁ°í¶Ç ¹Ý´ë·Î °áÇÕ·ÂÀº °íü°¡ Á¦ÀÏ °ÇÏ°í ¾×ü ±âü¼øÀÏ°ÍÀÌ´Ù.
ÀÌ¿Í ´Þ¸® ÇöóÁ´Â Á¦4ÀÇ ¹°Áú»óÅÂÀÌ´Ù.¿Ö¸¦ 4¸¦ ºÙ¿´À»±î?
±×°ÍÀº ¾Õ¼ 3°¡Áö ¹°Áú»óÅ¿ʹ ´Ù¸£±â¶§¹®ÀÌ´Ù.
µû¶ó¼ ¹°Áú»óÅ ºÐ·ù¿¡¼ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ »ý°¢ÇÒ¼ö ÀÖ°Ú´Ù.
°íü,¾×ü,±âü,ÇöóÁÇöóÁ´Â Àü±âÀûÀ¸·Î ÁØ Áß¼º»óŸ¦ À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.±×·³ ÀÌ ÇöóÁ ³»ºÎ¸¦ µé¿©´Ù º¼±î¿ä ÀÌ ÇöóÁ ³»ºÎ¿£ ´Ù¼öÀÇ ÀüÀÚ(-) ¿Í ÀÌ¿Â (+)µéÀÇ ÁýÇÕ Àå¼ÒÀΰÍÀÌ´Ù.
À̵éÀº °¡Àå Áß¿äÇÑ Æ¯¼ºÀ¸·Î Áý´Ü¿îµ¿(collective behavior)¸¦ °¡Áö¸é¼¿òÁ÷ÀÌ°í ÀÖ´Ù.°£´ÜÇÏ°Ô »ý°¢Çϸé ÇöóÁ´Â ÀÌ¿ÂÈµÈ ÇÏÀüÀÔÀÚ »óÅÂÀΰÍÀÌ´Ù.
ÀÌ ÇöóÁ¿£ À½ÀüÀÚ¿Í ¾çÀÌ¿Â ÀÌ ¸ðÀλóÅÂÀΰÍÀÌ´Ù.±×·³ ÀÌ¿ÂÈ°¡ ¹ºÁö ¾Ë¾Æ¾ß ÇÒ°ÍÀε¥..ÀÌ¿ÂÈ´Â ¾î¶»°Ô ¸¸µé¾îÁú±î?ÀÌ¿ÂÈ´Â ÃÖ¿Ü°¢ ÀüÀÚ°¡ ¶³¾îÁ®³ª°¥¶§ ¹ß»ýµÇ´Âµ¥,ÀÚÀ¯ÀüÀڱ˵µ°¡ ¸Õ ÁØÀ§±îÁö °¡ Àִ°ÍÀÌ´Ù.
À̶§´Â ÀÌ¿Â ÀüÀÚ»Ó¸¸¾Æ´Ï¶ó..Áß¼ºÀÚÀÔÀÚµéÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù.Áï..ÇöóÁ´Â ¾ö¹ÐÈ÷ ¸»ÇØ ÀüÀÚ,ÀÌ¿Â,Áß¼ºÀÚÀÔÀÚµéÀ» ´Ù °¡Áö°í ÀÖ´Ù.ÇöóÁ´Â ºÐÀÚ È¤Àº ¿øÀÚµéÀÇ ÀÌ¿ÂÈ °úÁ¤À̶ó°í »ý°¢Çϸé ÀÌÇØ°¡ ½±´Ù.
ÇöóÁ¹ß»ý¿¡ ÀÖ¾î¼ Ar°¡½º°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.ÀÌ°ÍÀº ´ÙÀ½¿¡ °è¼Ó ¼³¸íÀÌ µÈ´Ù.°¡½ºÀÔÀÚ¿Í ¹°ÁúÀÌ Ãæµ¹ÇϰԵǸé Áï ÀÌ°ÍÀ» physical contact·Î ÀÎÇØ ÃÖ¿Ü°¢ÀüÀÚ,ÀÚÀ¯ÀüÀÚ°¡ ÀÌÅ»µÈ´Ù.Áï ¶³¾îÁ® ³ª°¡°Ô µÈ´Ù.
±×¸®°í ¾çÀüÇÏ À̿°ú ºÐ¸®°¡ µÇ´Âµ¥..À̵éÀÌ ´Ù¼ö¸ð¿© ¾Õ¼ ¸»ÇÑ Áý´ÜÈ°µ¿À» ÇÑ´Ù.±×·¡¼ Àü±âÀûÀ¸·Î´Â Áß¼ºÀ» ¶ì°ÔµÇ¸ç..Áï À̿µ帣À̼ö¿Í ÀüÀÚÀÇ ¼ö°¡ °°´Ù´Â¸»ÀÌ´Ù.+¿Í -°¡ °ÅÀÇ °°Àº °¹¼ö°¡ ÀÖ´Ù°í »ý°¢Çϸé ÆíÇÒ°ÍÀÌ´Ù.
±×·¡¼ °ÅÀÇ Áß¼º »óŶó¼ ÁØ Áß¼º»óŶó°í ºÒ·¶´ø°ÍÀÌ´Ù.¿©±â¼ ¿ì¸®´Â ÇöóÁ¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ °¡ÀåÇÊ¿äÇÑ ¹°¸®Àû Çö»óÀÌ ¹»±îÇÏ°í»ý°¢Çغ¼ÇÊ¿ä°¡ ÀÖÁö ¾ÊÀ»±î?ÀüÀÚ°¡ ¿¡³ÊÁö¸¦ ¾òµµ·Ï ÇؾßÇÏ¸ç ±×°ÍÀÌ °¡½ºÀÔÀÚ¿Í Ãæµ¹Çϵµ·Ï ÇؾßÇѴٴ°ÍÀÌ´Ù.±×·¸´Ù¸é ÀüÀÚ´Â ¾î¶»°Ô ¿¡³ÊÁö¸¦ ¾òÀ»¼ö ÀÖÀ»±î?
´äÀº ¹Ù·Î Àü±âÀåÀÌ´Ù. Àü±âÀåÀ» °É¾îÁִ°ÍÀÌ´Ù.¿©±â¼ ¿ì¸®´Â ·Î·»Ã÷ ½ÄÀ» ¾Ë¾Æ¾ß Çϴµ¥ ¼öÄ¡ÀûÀΰÍÀº ²À ¾Ë¾ÆµÑ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù.
¿©±â¼´Â °£·«ÇÏ°Ô ¿ø¸®µéÀ» »ìÆ캸±â¸¸ ÇÑ´Ù.ÇÏÁö¸¸ ·Î·»Ã÷½ÄÀº ÀüÀÚ±âÇÐ ¶Ç´Â ¹°¸®ÇÐÃ¥À» º¸°í¼ ²À ¾Ë¾Æ¾ß ÇÑ´Ù.F=q(E + V X B)ÀÌ´Ù. ·Î·»Ã÷½ÄÀÌ´Ù ¿©±â¼´Â Àü±âÀå°ú ÀÚ±âÀå¿¡´ëÇÑ ±âº»Àû Á¤º¸°¡ ¸¹ÀÌ ¼û¾î Àֱ⿡ Áß¿äÇÏ´Ù.
ÀÚ..º»·ÐÀ¸·Î µé¾î°¡¼..Á¤¸®µÈ ¼³¸íÀ» °è¼ÓÇÏ°Ú´Ù.Àü±âÀåÀ» ÅëÇØ ÀÌ¿ÂÈ°¡ µÇ°í ´Ù¼ö°¡ ±ºÁýÈ°µ¿ÇÏ¸é¼ ÁØÁß¼º»óÅ°¡µÈ´Ù.¿©±â¼ °í·ÁÇÒ°ÍÀº ÀüÀÚ¿Í ÀÌ¿ÂÀº Áú·®Â÷ÀÌ°¡ Å©´Ù´Â°ÍÀÌ´Ù.ÀÌ¿ÂÀÌ ÀüÀÚº¸´Ù ´õ Áú·®ÀÌ Å©´Ù.¶ÇÇÑ ±×¸¸Å ÀÌ¿ÂÀº ¿îµ¿ÀÌ ¾î·Æ´Ù.¶Ç ±×·¡¼ ÀÌ¿ÂÀº ¼ÓµµÅ©±âµµ ÀÛ´Ù.
¹Ý¸é ÀüÀÚ´Â ¿¡³ÊÁö¸¦ ½±°Ô ¹Þ´Â´Ù.ÀüÀÚ´Â »¡¸® µ¹¸ç ¹Ý°æÀº ÀÛ´Ù.ÀÌ¿ÂÀº ´Ê°Ô µ¹¸ç ¹Ý°æÀÌ Å©´Ù.±×·¡¼ ÇöóÁ¸¦ ¸¸µå´Âµ¥ ÀÖ¾î¼ ÀüÀÚ°¡ ¼±ÇàÀûÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ°íÀÌ¿ÂÀº ±Ã±ØÀûÀ¸·Î ¿òÁ÷¿©¼ ¿ªÇÒÀ»ÇÑ´Ù.ÇöóÁ »ý¼º½Ã Ãæµ¹À̶õ Àǹ̴ ¾ÆÁÖÁß¿äÇѵ¥..ÀÌ Ãæµ¹Àº °³½º¾Ð·Â°ú ÀüÀÚ¿¡³ÊÁö¿¡ ºñ·ÊÇÑ´Ù.
±×·¡¼ ÇöóÁÀÇ ¿îÀüÁ¶°Ç¿¡´Â Áß¿äÇÑ 2°¡Áö°¡ Àִµ¥..À§ÀÇ ¼³¸í¿¡ µû¶ó¼ PRESSURE ¿Í ELECTRIC POWERÀΰÍÀÌ´Ù. ÇöóÁ³» Ãæµ¹¿ø¸®´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.ź¼ºÃæµ¹°ú ºñź¼ºÃæµ¹·Î ³ª´µ°Ô µÈ´Ù.ź¼ºÃæµ¹Àº °ø°£ÀÇ À̵¿À» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù.ºñź¼ºÀº ÀüÀÚ¿©±âµîÀ» ¹ß»ý½ÃŲ´Ù.
Ãæµ¹¿¡³ÊÁö¿¡µû¶ó ÀüÀÚÈíÂø,¿©±â,ÀÌ¿ÂȵîÀÌ ÀϾ°Ô µÈ´Ù.¿©±â¼ ¸Æ½ºÀ£ ºÐÆ÷ (MAXWELL DISTRIBUTION)ÀÌ Áß¿äÇѵ¥ÀÌ°ÍÀº °ø°£³» ÀüÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö¿¡ µû¸¥ ºÐÆ÷´Â Ãæµ¹Çö»óÀ» ÀÌÇØÇϴµ¥ ²À ÇÊ¿äÇÏ´Ù.À̹øÀº ÇöóÁ »ý¼º¿¡ °üÇÑ°ÍÀÌ´Ù.¾Õ¿¡¼ ¸»ÇÑ°ÍÀ» ²À ¿°µÎ¿¡ µÎ°í »ý°¢ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
º®¿¡¼ ¹æÃâµÇ´Â ÀüÀÚ³ª °ø°£³»ÀÇ ÀÚÀ¯ÀüÀÚµéÀÌ Àü±âÀå¿¡ ÀÇÇØ °¡¼ÓµÇ°í°ø°£³»ÀÇ °³½ºÀÔÀÚ¿Í Ãæµ¹. ÀÌ°ÍÀº ÀÌ¿ÂÈ ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å°°íÇöóÁ¸¦ »ý¼ºÇÏ°Ô µÇ´Âµ¥, ÀÌ°ÍÀÌ ¼Ò¸êÇÒ°æ¿ì´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù.ÇöóÁ³» ÇÏÀüÀÔÀÚµéÀº ÀüÀÚÀÇ °æ¿ì ¾ç±ØÆÇÀ¸·ÎÀÌ¿À´ÀÀÌ °æ¿ì´Â À½±ØÆÇÀ¸·Î Èê·¯³ª°¡ ¼Õ½ÇµÇ°Å³ª º®À» ±¸¼ºÇÏ´Â ÀÔÀÚ¿Í Ãæµ¹RECOMBINATIONÀÌ µÈ´Ù.ÀÌ·¯ÇÑ °úÁ¤À» ¹Ýº¹½Ã ¼Ò¸êÇÏ°Ô µÈ´Ù.ÇöóÁÀÇ »ý¼ºÀûÀÎ Ãø¸é¿¡¼´Â 3°¡Áö Áö¿ªÀÌ ÀÖ°Ô µÈ´Ù.
1)DARK DISCHARGE2)GLOW DISCHARGE3)ARC DISCHARGEÀÌ°ÍÀº ¼³¸íÀ» À§ÇØ ±×¸²ÀÌ ÇÊ¿äÇѵ¥ ´ÙÀ½°ú °°´Ù.¿©±â¼± °£´ÜÈ÷ ¼³¸í¸¸ ÇÏ°Ú´Ù.1)DARK DISCHARGE´Â ÇöóÁÀÇ ½ÃÀÛ´Ü°èÀÌ´Ù.±×·¡¼ ÇöóÁÀÇ Æ¯À¯ ºûÀÌ ¾È ³ª¿À´Â °ÍÀÌ´Ù.±× ÀÌÀ¯´Â °£´ÜÈ÷ ¸»ÇÏÀÚ¸é °ø°£ÀÌ BULK Çϱ⿡ ¾ÆÁ÷ °ø°£³»¿¡ ´Ù ¿µÇâÀ» ¹ÞÁö ¸øÇ߱⠶§¹®ÀÌ´Ù.±×·¡¼ ÀÌ°÷¿¡´Â BACKGROUND IONAZATION °ú SATURATION REGIME°¡ ÀÖ´Ù.
2)GLOW DISCHARGE´Â ÀÌ¿ÂÈµÈ ÀüÀÚ¼ö¿Í º®(WALL OF CHAMBER)ÀÇ ¹Ý»çµÈÀüÀÚ¼ö°¡ ¸¹¾ÆÁ®¼ 2Â÷ÀüÀÚÀÇ ¹æÃâ°è¼ö°¡ ¸¹¾ÆÁ®¼ À̿µµ ÀüÀÚµµ ¸¹¾ÆÁ³±â¶§¹®¿¡ÇѸ¶µð·Î È°¼ºÈ µÇ¾î ÇöóÁ°¡ ¹ß»ýÇÑ°÷ÀÌ´Ù.±×·¡¼ Àü¾ÐÀ» ´õ ¸¹ÀÌ ¿Ã¸®Áö ¾Ê¾Æµµ WALL¿¡¼ ³»ºÎÁö¿ªÀ¸·Î µé¾î°¡´Â ³à¼®µéÀÌ ¸¹¾Æ¼ CURRENT°¡ Áõ°¡ÇÑ´Ù.(´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ¼³¸í¿£ ±×¸²ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù)¿ì¸®´Â ´ëºÎºÐ ÀÌÁö¿ªÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù.
3)ARC DISCHARGE´Â ½ÃÀÛÀº ÇöóÁ°¡ °è¼ÓÀû ¹ß»ýÀ¸·ÎÀÎÇØWALL±Ùó¿¡ ¸·Ã³·³ µÑ·¯½Î°í ¿©±â¼ HEAT UPÀÌ ¹ß»ýÇϱ⶧¹®ÀÌ´Ù.
±×·¡¼ ¿À» ¹ß»ýÇÏ°í ÀÌ¿¡µû¶ó ¿ÀüÀÚ ¹æÃâµÇ°í ÀÌ°ÍÀº ÀÌ¿ÂÈ¿¡ ´õ¿í´õ ¸¹ÀÌ °¡´ãÇÑ´Ù. ¿ÀüÀÚ°¡ ¿©±â¼ »ó´çÈ÷ Áß¿äÇÏ´Ù.±×·¡¼ ÇöóÁÀÇ ¹Ðµµ°¡ »ó´çÀÌ ¾Õ¼º¸´Ù 40¹èÁõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù.ÀÌ°ÍÀº °³½ºÀÇ ¿Âµµµµ ³ôÈ÷°Ô µÇ°í ÀÌ¿ÂÀÇ ¿Âµµµµ »ó´çÈ÷ Áõ°¡½ÃŲ´Ù.
±×°ÍÀº ±×¸¸Å Ãæµ¹¿¡ °¡´ãÇÏ´Â ¼ö°¡ Áõ°¡Ç߱⶧¹®ÀÌ´Ù.±×·¡¼ ÀÌ ¿µ¿ª¿¡¼´Â ÀüÀÚ¿Í Áß¼ºÀÔÀÚ,ÀüÀÚ¿Í ÀÌ¿ÂÀÇ Ãæµ¹ÀÌ ¾ÆÁÖ ¸¹°í¿Âµµ°¡ »ó´çÈ÷ (3000~5000µµ) ±îÁö ±Þ°ÝÈ÷ ¿Ã¶ó°£´Ù.À̹ø¿£ ¿©·¯°¡Áö °£´ÜÇÑ ¼³¸íÀ» ÇÏ°Ú´Ù.
DC PLASMA :DCÀü¿ø »ç¿ëRF PLASMA :±³·ù¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¿À½Ç·¹À̼ÇÀ» ÇÔÀ¸·Î½á ÇöóÁ¸¦ À¯Áö½ÃŲ´Ù.DC MAGNETRON PLASMA: ÀÚ±âÀåÀ» °É¾î¼ ±× ¿¡µû¸¥ DISTRIBUTIONÀ» »ç¿ëSHEATH¿µ¿ª: ÀÌ°ÍÀº °ÅÀÇ Ç¥¸é¿µ¿ª¿¡¼ ÀϾ´Â°ÍÀÔ´Ï´Ù.1)2Â÷ÀüÀÚ¹æÃâ(SECINDARY ELECTRON EMISSION)-ÀÌ¿ÂÀº ½¬½º Æ÷ÅټȷκÎÅÍ ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹Þ°ÔµÇ¾î °¡¼ÓÀ̵ǰí Àü±ØÇ¥¸é°ú Ãæµ¹Àü±ØÇ¥¸é ¹°ÁúÀÇ ÀÏÇÔ¼ö(WORK FUNCTION)º¸´Ù Å« ¿¡³ÊÁö¸¦ ¾òÀ¸¸é Ç¥¸é¿¡¼2Â÷ÀüÀÚ ¹æÃâÁß°í±â°è
ÇÑ°ø Áß°í±â°è Áß°í °øÀÛ±â°è Áß°í»ê¾÷±â°è ½ÄÇ°±â°è
www.QAS.kr Å¥AS ÇѱÛÁÖ¼Ò "±â°è¼ö¸®"
±â°è¼ö¸®,Áß°í±â°è¸ÅÀÔ,Áß°í±â°è¼öÃâ,¼öÃâ±â°è¸ÅÀÔ,±â°èAS,¸ÅÀÔ±â°è,±â°èA/S
°øÀÛ±â°è¼ö¸®,»ê¾÷±â°è¼ö¸®,CNC¼ö¸®,°øÀÛ±â°è¸ÅÀÔ,µµºñ,±â°è¿î¹Ý,±â°è¸ÅÀÔ
|
|
|
|
|
|
|