중고기계,중고공작기계,중고산업기계,중고기계급매 게시판 웨이퍼 용어 QAS 중고기계 한공산업기계 - 2008-03-18 오후 8:24:54 4348 A - APCVD :상압 화학증기증착 - 상압 CVD는 증착 압력이 상압 또는 상압 근처인 CVD 시스템을 의미한다. 일반적으로, 웨이퍼는 벨트로 움직이는 평평한 susceptor에 수평하게 놓여지며, 이 susceptor가 이동하여 증착 구역을 통과할 때 웨이퍼에 박막이 증착되게 된다. ADC : 자동 결함 분류 - 웨이퍼 검사 시스템에 의해 발견된 결함들은 그들의 물리적, 광학적 특성을 바탕으로 하여 여러 다른 범주로 자동적으로 분류된다. - C - CMP : 화학물리연마 - 화학물리연마는 평탄화 공정으로 연마 성분을 함유한 부식성의 슬러리를 이용하여 부분적으로 공정이 진행된 웨이퍼의 평탄하지 못한 부분을 물리적으로 갈아내고 화학적으로 식각해서 평평하게 만드는 공정이다. 이를 통해 뒤따라 오는 공정은 평평한 표면에서부터 시작할 수 있다. Conductor : 도체 - 전류가 통하는 물질 CVD - 화학증기증착 - 화학증기증착은 증기나 가스의 화학적인 반응을 통해 박막을 증착하는 공정이다. - D - Dielectric : 유전체 - 전압이 인가되었을 때 전류가 흐르지 않는 물질로 절연체라고 불린다. 반도체 공정에 일반적으로 사용되는 두가지 유전체 물질은 산화 실리콘(SiO2) 과 질화 실리콘(SiN)이다. Doping : 도핑 - 비저항/전도도, 녹는점 등 물질의 고유의 특성을 변화시키기 위하여 재료에 불순물을 첨가하는 것으로 불순물의 양을 조절하여 특성의 변화 정도를 바꿀 수 있다. - E - Electro Chemical Plating : 전기 화학 도금 - 금속 이온이 화학 용액에서부터 이동하여 대전된 표면에 증착되는 공정. Epi or Epitaxy : 에피 또는 에피택시 - 특수한 반도체 소자 제작을 위해 아주 순수한 실리콘 결정 구조를 가진 박막을 웨이퍼 위에 증착 또는 성장시키는 공정 기술이다. 이러한 에피 기술을 통해 반도체 소자를 고순도의 박막 위에서 제조할 수 있다. Etch : 식각 - 화학 반응에 의해 특정한 부분의 물질을 제거하는 공정. - F - FSG : 플루오린이 도핑된 실리케이트 유리는 산화 실리콘에 플루오린을 도핑해서 만들어진 저유전 상수 물질로 유전 상수 값은 대략 3.5 정도이다. - I - Interconnect : 배선 - 트랜지스터와 다른 부분들을 전기적으로 연결시켜주는 집적된 도선들의 복잡한 라인. Interlayer Dielectric (ILD) : 층간 유전체 (ILD) - 집적 회로에서 금속 층들 사이의 절연을 위해 사용되는 박막. Intermetal Dielectric (IMD) : 금속간 유전체 (IMD) - 인접한 금속 배선 사이의 절연을 위해 사용되는 유전체 박막으로 일반적으로 산화 실리콘이 사용된다. Ion Implantation : 이온 주입 - 강한 전기장에 의해 보론, 아세닉 등과 같은 도펀트 이온들을 가속시켜 웨이퍼 표면을 통과시키는 공정 기술. 이온 주입을 통해 물질의 전기적인 특성을 변화시킬 수 있다. - L - Low K : 저유전 상수 물질- 일반적으로 4 이하의 유전 상수값을 가지는 산화 실리콘에 비해 향상된 절연 능력을 가지고 있는 낮은 유전 상수 값을 가진 유전체 물질. LPCVD : 저압 CVD - 저압 CVD는 상압보다 낮은 압력에서 작동하는 CVD 시스템을 말한다. LPCVD 시스템은 일괄 공정 또는 단일 웨이퍼 시스템에서 웨이퍼를 공정하는 일종의 노(furnace)와 같다. - M - Metallization : 금속화 공정 - 칩에서 배선 소자에 쓰이는 알루미늄과 같은 높은 전도도의 금속 층을 CVD나 PVD 공정을 통해 형성하는 공정이다. 일반적으로 금속은 알루미늄, 텅스텐, 구리 등이 쓰인다. Micron : (um or micrometer) 마이크론 또는 마이크로미터 - 길이의 단위로서 1 미터의 백만분의 1이다. 사람 머리카락의 지름은 50에서 100 마이크론 정도이다. 가장 앞선 반도체 제조업자들은 현재 0.25에서 0.18 마이크론 기술을 사용한다. (반도체 공정에서 이러한 길이의 의미는 재현성있게 형성할 수 있는 최소의 회로 라인의 선폭 또는 식각된 부분의 길이를 뜻한다.) - P - Passivation : 보호막 형성 - 반도체 소자의 마지막 단계의 층으로 회로 요소들을 외부와 차단하여 보호하기 위해 밀봉을 하는 것을 의미한다. 보호막으로는 주로 플라즈마 질화막과 산화 실리콘이 사용된다. PECVD : 플라즈마 화학 증기 증착 - 플라즈마 화학 증기 증착은 플라즈마를 이용한 CVD 시스템으로 200~400 도 정도의 낮은 온도에서도 플라즈마의 도움에 의해 박막의 증착이 가능하다는 장점을 가지고 있다. PECVD 시스템은 주로 산화 실리콘과 질화 실리콘 박막 증착에 사용된다. Photoresist : 포토레지스트 - 빛에 민감한 유기 고분자 물질인 포토레지스트는 사진 식각 공정을 통해 원하는 부분만 빛에 노출된 후 이후에 식각될 박막의 특정한 부분을 나타내는 패턴을 형성하기 위해 현상된다. Photolithography : 사진 식각 - 마스크 패턴대로 웨이퍼 위에 나타내는 공정으로 주로 '스테퍼(stepper)' 장비를 이용한다. Plasma: 플라즈마 - 고주파 에너지 등과 같이 아주 높은 에너지에 의해 분자 상태에서 이온 상태로 분해된 가스들. Polysilicon (Poly) : 다결정 실리콘(폴리) - 다결정 실리콘은 이온 주입을 통한 도핑 과정을 거친 후 전도체 또는 게이트 물질로 널리 쓰인다. 다결정 박막은 주로 고온 CVD 기술을 이용하여 증착된다. PVD : 스퍼터링이라고 불리는 물리 증기 증착은 알루미늄, 타이타늄, 질화물 등과 같은 전도 물질의 분자들을 순수한 물질의 타겟으로부터 떼어 내어(sputter) 웨이퍼에 증착시키는 공정 기술로 주로 칩 내의 전도 회로를 형성하는 공정이다. - R - Reactive Ion Etching (RIE) : 반응성 이온 식각 (RIE) - 화학적 식각과 물리적 식각의 결합으로 플라즈마 내에서 행해진다. - S - Semiconductor : 반도체 - 전기 전도도가 금속(도체)과 절연체(부도체) 사이인 물질로서, 도펀트에 의한 전도도의 변화와 같이 물질의 특성을 물리적 또는 화학적으로 변화시키는 것이 가능하다. Silane (SiH4) : 사일레인 - 실리콘과 수소로 쉽게 분해되는 가스인 사일레인은 실리콘이 포함된 화합물을 증착하기 위해 주로 사용된다. 사일레인은 또한 암모니아와 반응하여 질화 실리콘을 형성하거나, 산소와 반응하여 산화 실리콘을 형성한다. Silicide : 실리사이드 - 내화 금속이 포함된 박막 실리콘 화합물. 배선에 쓰이는 일반적인 실리사이드 반도체 박막은 탄탈륨, 텅스텐, 타이타늄, 몰리브데늄등이 포함된 실리콘 화합물이다. Silicon Dioxide (SiO2) : 산화 실리콘 - 실리콘/산소 박막은 유전체 응용에 널리 사용된다. 산화 실리콘은 사일레인 또는 TEOS에 의해 증착가능하며, 산화물이라고 불린다. Silicon Nitride (SiN) : 질화 실리콘 - 플라즈마 CVD 또는 LPCVD를 이용하여 증착된 실리콘/질소 박막 유전체. - T - Topography : 표면 형상 - 소자의 다층 구조로 인해 표면에 나타나는 윤곽을 의미한다. 평활도 또는 평탄한 정도는 소자 제조에 있어 매우 중요하다. Tungsten: 텅스텐 - 배선 재료로 사용되는 내화 금속. - W - Wafer : 웨이퍼 - 반도체 소자가 형성되는 기판으로서 괴 형태로 제조된 순수한 실리콘 덩어리를 얇고 둥글게 가공한 조각. 지금 현재 일반적으로 사용되는 가장 큰 웨이퍼는 직경이 200mm(8 인치)이며, 다음 세대 웨이퍼 크기는 300mm가 될 것이다. 한 장의 웨이퍼 당 200개 이상의 반도체 소자 또는 칩이 제조될 수 있으며, 이는 칩 또는 웨이퍼 크기에 따라 달라진다. 중고기계 한공 중고기계 중고 공작기계 중고산업기계 식품기계 한공기계 011-232-9991 한공 중고기계 중고 공작기계 중고산업기계 식품기계 [ Q AS ] 중고 공작기계, 중고산업기계, 중고기계 AS 수리 정보 사이트 AS 수리 서비스회사를 전문분야별, 지역별로 세분하여 안내 합니다. 그외 시설자금 계약서양식 기업에 필요한 자료정보 무료 제공. 공장 기계, 중고 공작기계, 산업기계, 식품가공기계, 화학기계, 중고기계 분야 장비 기계 설비, 중고기계의 기계,전기, CNC,NC, 유압,공압,PLC등 인터넷 한글주소 ☞ QAS http://www.QAS.co.kr 큐 AS